CKD集成化供氣系統

型號： IAGD5

行業

半導體制造工序（前工序）

化學氣體供給設備用元件

產品特點：【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶的工時。

CKD集成化供氣系統
型號： IAGD5   衍生系列

ckd集成化供氣系統IAGD5

化學液體用氣動閥的新標準。

它是一款支持各種壓力、溫度和流體條件的端產品。

它可以統一使用中所有細分的模型。

行業

半導體制造過程（預處理）

化學液體供應設備的組件

ckd集成化供氣系統IAGD5

備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸。

配備 4、194 和 304 個脈沖的編碼器分辨率，可實現 ±2 秒的重復精度。

產品可以直接從頂部或底部安裝，無需拆下蓋子。這顯著減少了工作時間，尤其是從頂部安裝時。【維護方便】

滑塊側面設有可直接從外部供給油脂的油脂供給口。不分解主體，從一處輸送油脂，維護導軌和滾珠絲杠。[低塵規格選項]

提供相當于 2.5 級（ISO14644-1 標準）的清潔度。通過提供真空端口實現低發塵。非常適合在清潔環境中運輸。

* 有關清潔等級的詳細信息，請參閱產塵特性頁面上的目錄。[NEW] 添加了低粉塵規格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執行器的無電機規格，允許您安裝和控制每個制造商的電機。

將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊，剛性高。主體外側設有供油口，主體頂部可安裝，安裝維護方便。

沖程：50~1250mm

最大搬運質量（水平）：110kg[NEW] 添加了低粉塵規格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執行器的無電機規格，允許您安裝和控制每個制造商的電機。

將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊，剛性高。主體外側設有供油口，主體頂部可安裝，安裝維護方便。

沖程：50~1250mm